10/05/30 23:55:47.34 Qe+8yqR7 BE:35400097-PLT(12347) ポイント特典
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“今回のSIDの一番人気はこれだ”，AUOが32型で酸化物半導体TFT駆動の液晶パネル
台湾AU Optronics Corp.（AUO）は2010年5月28日（米国時間），駆動素子に酸化物半導体TFTを用いた，
32型の液晶パネルに関する技術発表を，ディスプレイ関連の国際会議「SID 2010」で行い，AUTHOR
INTERVIEWSで表示デモを披露した。会場は，最終日にもかかわらず，“テレビ・サイズ”である32型品を
一目見ようと，数多くの技術者であふれた。昨日のソニーの巻き取れる有機ELのデモにも，多くの技術者が
集まったが，AUO社のデモはそれを上回っていた。今回のSIDでの“一番人気”といえそうだ。
デモ展示した32型品を見ると，青空の映像などで若干のムラは確認できるが（写真では確認が難しい），
ライン欠陥など一目でわかる不良は見当たらない。AUTHOR INTERVIEWS会場にいた，ある国内メーカーの
技術者は，「ベスト・サンプルだろうが，このレベルは大したもの」と唸るほどだ。
第6世代ラインで試作
AUO社は，自社の第6世代（ガラス基板サイズ：1850mm×1500mm）の液晶パネル製造ラインで試作した。
利用した酸化物半導体TFTは，同日に発表したソニーの11.7型有機ELパネルと同様，チャネル材料にアモルファス
IGZO（In-Ga-Zn-O）を採用している。TFT構造は，ソース/ドレインの電極をチャネルの側面に設けたコプレーナ型である。
TFTアレイ形成後に，250℃，1時間の熱処理を施すことでプロセスの再現性を高めている。
アモルファスIGZO TFTの特性としては，47.4μm/5.5μmの素子で，キャリア移動度が5.16cm2/Vs，閾値電圧は0.5V。
サブスレッショルド・スイング（S値）は0.38V/decade，オン/オフ比は108である。
URLﾘﾝｸ(techon.nikkeibp.co.jp)
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図2 デモ展示には人が溢れ，近づくのも難しいほど
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