09/11/04 14:43:24.96 UJ8mqwaW
>>396
半導体用ガスの種類は多種多様にわたり、その用途も
またさまざまなものです。
雰囲気用ガス ： Ar,O2,N2,H2
原料ガス ： SiH4,SiHCl3,SiCl4
薄膜形成用ガス ： SiH4,NH3
ドーピング用ガス ： PH3,B2H6,AsH3,SbH3,POCl3
エッチング用ガス ： CF4,CCl4,HCl
などなど。
09/11/04 14:43:24.96 UJ8mqwaW
>>396
半導体用ガスの種類は多種多様にわたり、その用途も
またさまざまなものです。
雰囲気用ガス ： Ar,O2,N2,H2
原料ガス ： SiH4,SiHCl3,SiCl4
薄膜形成用ガス ： SiH4,NH3
ドーピング用ガス ： PH3,B2H6,AsH3,SbH3,POCl3
エッチング用ガス ： CF4,CCl4,HCl
などなど。