17/03/17 07:41:06.27 ClzX2uX4a.net
Σヤマキ社長曰く、垂直センサーこそが、光学的特性の
最適解と。
しかし、これには重大な見落としがある。光学的には最高
でも、半導体プロセス的には致命的なのである。
現在、半導体の配線の間隔は”原子数個分”という次元にまで
到達している。この量子力学的世界では、光は波動としての
性質ではなく、粒子としての性質がより支配的になる。
とすると、その粒子としての性質、特性を最大限利用して
微細化されている先端半導体プロセスと極めて相性が悪い。
更に、半導体を多層化する程ヒステリシス領域での問題も
指数関数的に加算される。
つまり、ベイヤー型センサーが最適解だ。
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