12/04/08 09:41:56.56 B/q3pLNP0
[1層目]五酸化ニオブ:125.34nm、
[2層目]二酸化ケイ素:149.34nm、
[3層目]五酸化ニオブ:8.12nm、
[4層目]二酸化ケイ素:129.98nm、
[5層目]五酸化ニオブ:53.73nm、
[6層目]二酸化ケイ素:201.54nm、
[7層目]五酸化ニオブ:81.73nm、
[8層目]二酸化ケイ素:174.00nm、
[9層目]五酸化ニオブ:97.89nm、
[10層目]二酸化ケイ素:161.52nm、
[11層目]五酸化ニオブ:158.48nm、
[12層目]二酸化ケイ素:98.12nm、
[13層目]五酸化ニオブ:87.00nm
実際に使われてるかは知らんけど
特許だとこんな感じになってる