【技術】古河機械金属 ＧａＮ基板の新製法を開発、結晶欠陥と歪み低減を実現at SCIENCEPLUS
【技術】古河機械金属 ＧａＮ基板の新製法を開発、結晶欠陥と歪み低減を実現
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