【技術】古河機械金属 ＧａＮ基板の新製法を開発、結晶欠陥と歪み低減を実現at SCIENCEPLUS【技術】古河機械金属 ＧａＮ基板の新製法を開発、結晶欠陥と歪み低減を実現 - 暇つぶし2ch■コピペモード□スレを通常表示□オプションモード□このｽﾚｯﾄﾞのURL■項目テキスト1: ◆EMP2/llDPmnz ＠透明な湖φ ★ 11/08/04 23:14:48.41 BE:843860148-PLT(14645) 古河機械金属は、窒化ガリウム（ＧａＮ）基板を作製するハイドライド気相成長法（ＨＶＰＥ）において、 結晶欠陥の大幅な低下とＧａＮ基板の歪み低減を実現する新製法「Ｒａｎｄｏｍ ｉｓｌａｎｄ ＦＩＥＬＯ法」 （ｒーＦＩＥＬＯ法）を開発した。 今後需要拡大が見込まれるパワーデバイス用途などにおいて求められる高品質、大口径ＧａＮ基板 の作製に寄与する製法として開発を進め、同基板の本格量産へ向け準備を進めていく。 ソース：化学工業日報 http://www.kagakukogyonippo.com/headline/2011/08/04-3024.html ★依頼スレ＠レスhttp://toki.2ch.net/test/read.cgi/scienceplus/1308061081/201番より 2:名無しのひみつ 11/08/04 23:16:30.40 /uVLpZEF 全く意味がわからんので誰かわかりやすく解説してくれ 3:名無しのひみつ 11/08/04 23:19:38.88 ahfMQxD7 この板は、なんでもありになってきたね 4:名無しのひみつ 11/08/04 23:31:14.57 tWhyC0Ut http://www.furukawakk.co.jp/csr/rd/rd_nitride.html FIELO法 窒化ガリウム結晶中の転位を低減させる手法で、結晶の成長初期に、 結晶特有なファセット面を作製させることで、貫通転位の大幅な低減が可能となった。 これにより、窒化ガリウム基板全面に亘って、3x106cm-2以下の低転位密度を実現している。 うーん余計分からん。。。でもまぁ、青色LEDのおかげGaN基板の需要が高くなったから、その新しい製造方法を開発した、ってことだろ 次ページ最新レス表示レスジャンプ類似スレ一覧スレッドの検索話題のニュースおまかせリストオプションしおりを挟むスレッドに書込スレッドの一覧暇つぶし2ch