11/08/04 23:14:48.41 BE:843860148-PLT(14645)
古河機械金属は、窒化ガリウム（ＧａＮ）基板を作製するハイドライド気相成長法（ＨＶＰＥ）において、
結晶欠陥の大幅な低下とＧａＮ基板の歪み低減を実現する新製法「Ｒａｎｄｏｍ ｉｓｌａｎｄ ＦＩＥＬＯ法」
（ｒーＦＩＥＬＯ法）を開発した。
今後需要拡大が見込まれるパワーデバイス用途などにおいて求められる高品質、大口径ＧａＮ基板
の作製に寄与する製法として開発を進め、同基板の本格量産へ向け準備を進めていく。
ソース：化学工業日報
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