09/10/04 20:35:52 2cxiWTq5
(>>356の続き)
> 同じように電子線を当てて励起しても出て来る蛍光X線の強度は、もちろん元素によって異なりますので、その補正を行った結果が、その下のZAF法による定量結果と言う表に掲載されています。
>
> ソコをから計算すると、質量比がAl:O≒46:54、mol比がAl:O≒34:66と、酸素の方が圧倒的に多いという計算結果になっています。
>
> 少なくとも生業として分析事業を請け負ってる会社のデータ解析ですから、コッチの方が信頼できるようにワタシには思えます。
一方が正しくもう一方が間違いという問題ではなかろうw
この会社の分析結果で、EDSスペクトル(「元素分析結果」)でのカウントピーク値に対する「ZAF法
による定量結果」の「質量%」の比を元素間で比べると、特性X線が低エネルギー側(< 1keV)にある
CとOが特に大きい、すなわち補正が特に大きいことがわかる(それぞれAlに対する補正より10倍強、
4.2倍大きい)。
専門家でないワタクシの推測だが、これは試料の深めの場所のC,Oで発生した低エネルギーの特性X線
が、試料から脱出する前に吸収(Absorption)されて検出器にかからず、X線強度の測定値が低めに
出るためと考えられる。
(ただし、酸化アルミの基板でありながら、OとAlの原子数比が~1.5:1ではなく~2:1になっているのが
謎だが。EDSで検知できないHを含む水分などのOの寄与?)
他方、赤チップ試料は薄く隙間も多そうなので、Oの特性X線の吸収がアルミナ基板よりかなり少なく、
補正の大きさがAlとあまり違わなかったと考えられる。
(参考のため、いくつかの物質中での各エネルギーのX線の減衰長はローレンス・リバモア研究所で
計算してくれるw
X-Ray Attenuation Length
URLリンク(henke.lbl.gov) )
> もしかしたら、論文の著者達はピークの強度比か、面積比で単純に計算しちゃったんじゃないでしょうかねぇ??
単純杉なのはどちらでしょうかねぇ?w