09/10/04 20:34:43 2cxiWTq5
(>>355の続き)
> それに算出法が『conventional quantification routine』ってだけで、良ぇのかいなぁ・・・というのも疑問でした。
>
> そこで、WEBで検索を掛けて参考になるのは無いかいなぁ・・・と探して、面白いページを見付けました。
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> 業務の一つとしてEDSによる元素分析の依頼測定を請け負ってるらしいダイヤモンドエンジニアリング株式会社の、『微小異物分析について』と言うページを見て下さい。
> URLﾘﾝｸ(www.diamond-eng.co.jp)
>
> ここにはアルミナ(Al2O3)、つまりアルミニウムの酸化物の基板と、その上に乗っかってるゴミを、面で元素分析に掛けた例が載ってます。
>
> この、元素分析結果と言うグラフの『O』のKαと『Al』のKαのピークの強度比は、この論文のFig.17にソックリですよね。
「ソックリ」ってwww、ぱっと見でもかなり違って見えますがw
まあ、基板とミクロンスケールの赤チップとでは試料の厚みや形状がかなり違っていて、下記のように
補正の大きさに影響すると考えられるから、単純に強度を比較しても意味がないだろうが、上記ページ
の「元素分析結果」で、OとAlの特性X線強度の比の代用として、カウント数のピーク値の比が
2080:7520 ~1:3.6 なのに対して、論文Fig.17の赤チップでは ~1:5.4 になっていて、AlのOに
対する比で赤チップの方が~1.5倍大きい。
（この赤チップでのOとAlのピーク値の比~1:5.4を補正なしにそのままOとAlの質量比に等しいとする
と、モル比は~1:3.2となって、上で引用された論文でのAlとOの比~3:1がモル比を表すという、もう
一つの根拠になる。
また、仮に赤チップのOの質量比を計算する際の補正が、実はアルミナ基板の例と同様に大きかった
（下記のようにAlへの補正の~4.2倍）としても、OとAlとの質量比は~4.2:5.4、原子数比で~1.3:1
だから、Al2O3を作っても一応Alにお釣りが出るw）