08/07/30 01:58:29
>>115
結晶構造からhkl,F,2θを計算しろ。
吸収を計算して、透過するなら振動写真を撮れ。
±１０°くらいふるのが簡単だろう。結果見れば一撃だろ？
わからなきゃ、表と２θ見比べろ。低角側の反射なら間違えんだろ？
透過しないなら、反射で振動写真をとれ、影が多いので多少不愉快だが何とかなる。
ん？なに？IPもCCDもX線フィルムもPilatusもない？４軸回折計だけ？
じゃあ、ウェハに垂直な逆格子ベクトルがあると信じて2θ-ωスキャンすれば？
受光スリットは甘めにしておくこと。
俺なら、φの回転軸とウェハは垂直になるようにマウントし、χ=90°で測定するな。
反射が系統的に見つかれば、2θと表を見比べろ。それで１軸は決定。
もう一軸は、決定済みの軸から90以内の傾きの逆格子ベクトルを選べ。
それで計算で何度χを傾ければいいか決めて、2θとωは計算値に。
そんでφスキャン。２軸決まれば３軸目は計算で決まる。
何？４軸角からベクトルへの変換が分からない？桜井先生の本読め。
え、κ型ゴニオしかない？どうにかなるが、面倒くセ。
なんだと、インプレーン回折も出来る薄膜用の回折計なのか？
マニュアル嫁。それで仕舞だろ。