08/07/30 01:58:29
>>115
結晶構造からhkl,F,2θを計算しろ。
吸収を計算して、透過するなら振動写真を撮れ。
±１０°くらいふるのが簡単だろう。結果見れば一撃だろ？
わからなきゃ、表と２θ見比べろ。低角側の反射なら間違えんだろ？
透過しないなら、反射で振動写真をとれ、影が多いので多少不愉快だが何とかなる。
ん？なに？IPもCCDもX線フィルムもPilatusもない？４軸回折計だけ？
じゃあ、ウェハに垂直な逆格子ベクトルがあると信じて2θ-ωスキャンすれば？
受光スリットは甘めにしておくこと。
俺なら、φの回転軸とウェハは垂直になるようにマウントし、χ=90°で測定するな。
反射が系統的に見つかれば、2θと表を見比べろ。それで１軸は決定。
もう一軸は、決定済みの軸から90以内の傾きの逆格子ベクトルを選べ。
それで計算で何度χを傾ければいいか決めて、2θとωは計算値に。
そんでφスキャン。２軸決まれば３軸目は計算で決まる。
何？４軸角からベクトルへの変換が分からない？桜井先生の本読め。
え、κ型ゴニオしかない？どうにかなるが、面倒くセ。
なんだと、インプレーン回折も出来る薄膜用の回折計なのか？
マニュアル嫁。それで仕舞だろ。
117:115
08/08/03 02:23:40
>>116
>ウェハに垂直な逆格子ベクトルがあると信じて2θ-ωスキャンすれば？
ある指数面からある方向にある角度だけ傾斜させた基板で、ウェハに
垂直な逆格子ベクトルが無いことだけは分かっています。角度の大小は
不明です。
>φの回転軸とウェハは垂直になるようにマウントし、χ=90°で測定するな。
φはステージ面内の回転角ですね。χはステージのアオリ角のことですか？
χ=90°だとどんな利点があるのですか？In-plane回折とは違うのですか？
>反射が系統的に見つかれば
お手数ですが、ここをもう少しご教授いただけませんか？自分の場合、
使用可能な装置は４軸回折計だけです。いかにして素早く軸を見つけますか？
In-plane回折は可能ですが、軸立ての難易度は同じじゃないでしょうか？
ちなみに受光側スリットは最大2°しかありません。
118:名も無きマテリアルさん
08/10/18 18:30:14
hoshu
119:名も無きマテリアルさん
08/10/23 03:30:06
初めまして。
背面反射ラウエ法による単結晶の結晶配向決定方法がわからないくて困ってる者です。
カリティのＸ線回折要論を読んではみたものの、なにぶん初心者なもので完全にはわからなかったので
こちらで質問させて頂きたく思います。
グレニンガーチャートによりラウエ斑点を作っている面の極が特定できる、という
ところまでは理解したのですが、そこからどうやって結晶の配向を決定できるのでしょうか。
（例えば 試料の板面方向に対して六方晶（０００１）は何度傾いているか、などはどのような
手順を踏むことで決定できるのでしょうか。）
一応ミラー指数の定義やステレオ投影とはどういうものか、ということも少しばかりではありますが
理解しました。
初歩的な質問ではありますが、どなたかご教授いただけたら嬉しく思います。
120:名も無きマテリアルさん
08/10/23 23:48:43
こんなところで質問して理解できる様になるとは
とても思えないのだが・・・
121:119
08/10/24 00:18:45
周りにわかりやすく記載されている文献がなく、周りに詳しい人物もいなかったため
困った挙句こちらに来てみましたが、おっしゃる通りですね。
文面ではなかなか理解できるものではないでしょうし、カリティを何度も読み返すしかないのでしょうかね…。