08/07/25 21:56:14
問題：
構造欠陥がほとんど無い単結晶の円形ウェハがあります。
構成元素と結晶構造は既知ですが、結晶方位が不明です。
あなたならどのようにして結晶方位を素早く調べますか？
基本的にXRDでの評価を想定していますので、まずはXRD
での軸立て方法を教えてください。しかし、XRD以外で、
あなたの職場or実験室で使用可能な分析装置ならば使用して
OKですので、それも教えてください。
ちなみに、表面形状や外形からでは判断つきません。
ウェハを破壊してはいけません。ウェハの直径は2インチ、
厚さは400umです。汚すのは駄目ですが、裏面へのカーボン
テープ程度なら、OKです。