スレ立てるまでも無い質問【材料物性】part.3

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スレ立てるまでも無い質問【材料物性】part.3 - 暇つぶし2ch647:名も無きマテリアルさん
09/04/17 21:07:58
5-10ミクロン程度の純シリコンの細粒をさらに小さくしてTEM観察したいんですが、
どんな手法でTEM試料作製するのが手っ取り早いでしょうか？