01/12/15 01:13
薄膜プロセス。いろいろあります。
気相法、液相法が大きな分類としてそれぞれに数多くのプロセス
があると思います。これらのプロセスの比較、薄膜の評価法、物
性等いろいろ語り合いましょう。
とりあえず取っ掛かりとして代表的な圧電材料であるPZTの薄膜
作製プロセスについてそれぞれのプロセスの有利な点不利な点を
あげてみてください。
01/12/15 01:13
薄膜プロセス。いろいろあります。
気相法、液相法が大きな分類としてそれぞれに数多くのプロセス
があると思います。これらのプロセスの比較、薄膜の評価法、物
性等いろいろ語り合いましょう。
とりあえず取っ掛かりとして代表的な圧電材料であるPZTの薄膜
作製プロセスについてそれぞれのプロセスの有利な点不利な点を
あげてみてください。