薄膜プロセスat MATERIAL
薄膜プロセス - 暇つぶし2ch3:名も無きマテリアルさん
01/12/15 15:40
膜圧の均一性や製造プロセスのことを考えると結局
CVDが一番よいのでは？
研究段階ではスパッタもありで

うちで使っているPLDは最悪
リークが駄々漏れで製膜レートも製膜できる範囲もちいさすぎ

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