06/03/18 11:06:13 IPddgPGf
ちょとスレから外れるがマイクロドリルの再研磨に使うアイテムが本日届いた。
それは0.05μの分解能をもった変位センサでドリルを保持したときの偏芯偏角を0.5μ以下に微調整するのに使う。
普通の再研磨機械は高精度のチャックで保持しているだけでその保持精度はチャックに依存する。
マイクロドリルなどの微細工具はそれだけで不十分なのでこういった非接触変位センサや画像処理などで
位置を補正しないとできない。工具自身もシャンクと刃部は偏芯している。
また既に応力を受けたドリルは若干だが曲がっている。（エンドミルは毎回の切削ごとに首に曲げ応力を受け
疲労が溜まっている） これらの保持の補正と再研磨後の検査にこの非接触変位センサを使う。
旋回テーブルの高精度のものが売ってなかったので自作したが0.2μの偏芯精度は出ていると思っている。
これまで確認はできなかった。この0.05μの分解能のセンサで測ってみたい。
（1μは1000分の1ミリ その20分の1が0.05μ 50ナノメートルってこと）