【電子工学、光工学】質問スレッド 2at KIKAI
【電子工学、光工学】質問スレッド 2 - 暇つぶし2ch640:名無しさん@3周年
04/01/24 01:16 6XywgPUn
>>637
詳しいわけではないんだけど、0.1μmくらいだったらエンコーダ付の
自動ステージでいけるんじゃないかな。
ピエゾよりはだいぶ安くすむと思いますが・・


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