04/01/20 00:11 Qiehx30B
ピエゾ素子に関しての質問です
ピエゾアクチエーターなる物（ピエゾ素子で微小変位を作るデバイス）を
利用しようとしているのですが、駆動する際の方法に関してです。
ある物体（スマソ、企業秘密なので）の位置決めに使用するのですが
現在は物体の後方から、マイクロメーターで押しで位置を決め、
所望の位置に合わせでロックネジで固定する方法を取っています
今回マイクロメーターでの精度では不十分（０．１ミクロンオーダー）なので
微小に動かせるデバイスとして、ピエゾアクチエーターが候補に上がったのです
メカ的には、粗動部は現行のマイクロメーターで微動部にピエゾアクチエーターを
使用したいのですが
問題点として
１）ピエゾ素子自身の性質で”ヒステリシスが在る”との事で前回と同じ電圧を印加しても
同じ変位が得られない可能性がある事
出来ればフイールドバックなし（位置変位計測なし）のオープンループ制御にしたいのです
２）位置決めする物体から、押し返して来る力が在る（計測した事はないのですが、大体
手で思いっきり押す程度と想像される）その力の周期か２?２０秒程度で、周期の３分の１程度の期間です。
一応ロックネジで固定されていますがサブミクロンオーダーでは動いていると思われます
応力が掛かるとピエゾ素子自身の性質で、電位発生と思われますので
発生する電位は、位置決めの為に印加している電圧と逆方向の電位となり印加電圧の変動が起こるのでは？
と思います
吐き出し、吸い込み両方可能な電源（ドライブ回路）が必要なのでしょうか？
宜しくお願いします