07/02/12 21:59:08 brEZ5wAT
>>343
モノシランって、SiH4ですよね。昔、窒化シリコンをプラズマCVDでつけたことぐらいしか
ない私ですが、そのぐらい分かります。カッコ内にモノシランと書いてくれていなかったら
まったく分かりませんでした。
07/02/12 21:59:08 brEZ5wAT
>>343
モノシランって、SiH4ですよね。昔、窒化シリコンをプラズマCVDでつけたことぐらいしか
ない私ですが、そのぐらい分かります。カッコ内にモノシランと書いてくれていなかったら
まったく分かりませんでした。