10/12/10 08:55:17 0
「０．０７秒」の電圧低下が、日本のものづくりを揺るがしている。
８日早朝、中部電力管内で電圧が一瞬低下。東芝の半導体製造の主力である
四日市工場が一部操業を停止した。
コスモ石油四日市製油所も操業を停止したままだ。高い品質の電力に頼る日本の製造現場のもろさを露呈した。
東芝四日市工場は、電源を切っても記録データが保たれる「ＮＡＮＤ型フラッシュメモリー」を生産している。
パソコン用のメモリーカードやスマートフォン（多機能携帯電話）、デジタルカメラ向けの需要が急増し、
フル操業を続けるなかで事態は起きた。
半導体工場は精密な製造装置が多く、電圧の安定した質の高い電気が欠かせない。
このため、落雷などで電圧が変動した影響を製造装置に伝えないように「ＵＰＳ」（無停電電源装置）を
備えるのが一般的だ。
東芝によると、四日市工場も主な製造装置にＵＰＳを付けていたが、製造装置のあるクリーンルームの
空調設備が停止。電圧低下の落ち幅や時間が想定よりも大きく、対応しきれなかったという。
半導体製造では、ほこり一つない状態が必要だ。いったん止まると設備の洗浄や製造途中の半製品の撤去、
設備の点検を経ないと、再開できない。
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