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毎日新聞 2022/2/17 12:50（最終更新 2/17 12:51） 984文字
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静電チャックの需要増に対応するため大分県中津市に建設した生産工場＝TOTO提供
半導体需要が世界的に活況となる中、住宅設備メーカー、TOTO（北九州市）のセラミック事業が好調だ。けん引役となっているのは、半導体製造装置に欠かせない「静電チャック」と呼ばれる部材だ。衛生陶器を手がける中で培ってきた先端技術が世界の半導体製造を支えている。【高橋慶浩】
2022年3月期第3四半期連結決算によると、売上高4801億円のうちセラミック事業は209億円。売上高ベースで全体の約4％に過ぎないが、営業利益ベースでは全体の430億円の約14％を占める59億円となった。前年同期の営業利益10億円と比較すると6倍まで増えている。
なかでも売り上げを伸ばしているのが、ファインセラミック製品の「静電チャック」（直径約30センチ、重さ約10キロ）だ。半導体の基盤となるシリコンウエハーを設計通りの形状に整える工程で、ウエハーを静電気で固定する作業台として使われる。半導体の生産効率を左右する重要な消耗材として国内外から引き合いが強い。
TOTOはトイレや洗面台など水周り中心のメーカーとして知られるが、一般的な陶器以外でも社会貢献しようと、1976年からファインセラミックの本格研究を開始。84年にセラミック事業部（後の製造子会社「TOTOファインセラミックス」）を設立した。
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半導体の製造に欠かせない部材となっている「静電チャック」＝TOTO提供
静電チャックは88年から量産に取り組み、生産効率の低さなどから長く赤字状態が続いたが、特殊な製法で耐久性を高めたことで世界的な装置メーカーにも採用されるようになった。最新の半導体は構造がより複雑で微細化しており、ウエハーを加工する際にわずかでもちりが発生すれば生産効率が下がるため、耐久性の向上が需要増につながっている。
また、近年の利益率向上の背景には、半導体市場が一時的な調整に入った18年の生産工程見直しがある。機械化などで品質向上と作業時間の半減を実現。20年10月には大分県中津市に約120億円を投じて新工場を完成させ、同年から始まった半導体市場の活況に増産態勢が間に合った。
TOTOファインセラミックスの升本浩之社長は「品質検査への人工知能（AI）導入やビックデータ解析による生産管理も進め、更なる品質向上と安定供給を目指したい」。TOTOの清田徳明社長は「市場のスピード感に対応できるよう体質を強化してきた。商品の利幅も大きく、今後の事業の柱になり得る」と自信を見せる。