07/09/05 15:44:59
理化学研究所と埼玉大学は4日、殺菌や光化学効果の高い波長230～350ナノメートル
（深紫外）の光を発する、実用的強度の発光ダイオード(LED)を開発したと発表した。
殺菌・浄水、医療、生化学分野などへの応用が期待される。これまでエキシマレーザー
など大型で高価な装置でしか発生できなかった250～270ナノメートルの半導体紫外光源
が実現すれば、家庭用の小型殺菌灯などに用途が広がる。
深紫外を発光する材料で、材料寿命、有毒元素を含まないものとして、
窒化アルミニウムガリウム（AlGaN）系材料が有力視されている。しかし、
これまで下地基板となる窒化アルミニウム（AlN）結晶を高品質に作ることが
できず、発光効率が悪かった。
研究グループは、Alガスを連続供給しながらアンモニアガスをパルス供給する
方法で、サファイア基板上にAlNを高品質に結晶成長させる新しい手法を考案して、
AlGaNからの深紫外発光強度を約50倍に高めた。
今回作製したのは、AlGaN系で最短波長とされる227.5ナノメートルを発光するLEDと、
殺菌効果が最も高いとされる260ナノメートルを約2ミリワットの高輝度で発光する
LEDの2種。2ミリワットは市販のイルミネーション用LEDと同等でそのまま殺菌灯として
利用できるレベル。
これまでにAlNを発光層として波長210ナノメートルを0.02マイクロワット発光するもの
が報告されているが、AlN系はさらなる発光の高効率化は難しいと考えられており、
新デバイスの開発は実現に向けた大きな前進だという。
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