21/11/08 12:00:39.59 ZMxL1hgVM.net
>>1
半導体生産設備の話だし
結局はASML頼り
ASMLにはかなわんよ
半導体の新技術開発のハードルが高まるなか、東京エレクトロンは外部組織との連携を加速する。
ベルギーの研究機関「IMEC（アイメック）」が主導するコンソーシアムに参加し、オランダのASMLなど半導体装置の世界大手と新たなプロセス開発に取り組む。
電子回路の線幅を数ナノ（ナノは10億分の1）メートルまで狭める「微細化」に向け、半導体製造の各分野で世界最先端の技術を持つ企業が連携し、早期実用化を目指す。