19/10/03 12:17:55.19 /7lz3jad0.net BE:709039863-2BP(1000)
URLﾘﾝｸ(img.5ch.net)
ＳＫハイニックスが日本の輸出規制品目の一つである液体フッ化水素
（エッチング液）の国産化に成功した。今月初めから国内企業の製品を一
部半導体生産ラインに投じている。液体フッ化水素は半導体の原版である
ウェハーを削って不純物を除去する際に使用される核心材料だ。
日本政府は韓国向け輸出規制を始めた７月以降、気体フッ化水素の輸出は３件承認したが、
液体製品輸出はまだ１件も許可していない。産業界では半導体企業による
核心素材の国産化と輸入処の多角化が予想より早く進んでいるという評価が出ている。
ＳＫハイニックス関係者は２日、「１日から一部の生産ラインに日本産液体フッ化水素の代わりに
国産製品を投じている」と明らかにした。同社は液体フッ化水素をラムテクノロジーから供給を受けていると伝えた。
ラムテクノロジーは２００１年１０月に設立された半導体工程用科学素材専門企業だ。
中国産原料を輸入して再加工したフッ化水素製品と自社生産分などを集めて
ＳＫハイニックスに納品している。ラムテクノロジーの液体フッ化水素供給可能物量は年間７０００トン水準で
ＳＫハイニックス全体需要量の半分程度だ。ＳＫハイニックスとラムテクノロジーは
昨年末から液体フッ化水素の生産を共同で準備し、先月最終品質試験を終えたという。
だが、液体フッ化水素輸出は「書類補完」などの理由を挙げて承認しないでいる。
国内業界では、液体フッ化水素がウェハーエッチングや不純物除去など広範囲に
使われるため日本が「意図的に」輸出承認を先送りしているとみている。
業界関係者は「日本政府の液体フッ化水素輸出許可が遅れていることでサムスン電子と
ＳＫハイニックスが国産製品の品質テスト速度をさらに上げた」としながら
「日本の輸出規制が核心素材国産化の踏み台になった」と評価した。
ディスプレー業界では半導体業界よりも早く液体フッ化水素の国産化が進められている。
ＬＧディスプレーは先月初め、液体フッ化水素の一部国産化を知らせた。
今月には生産ラインに投入される液体フッ化水素１００％を国産化する予定だと伝えた。
サムスンディスプレーも最近、国産液体フッ化水素テストを終わらせて近く生産ラインに投じる予定だ
URLﾘﾝｸ(japanese.joins.com)