11/05/29 19:07:31.04 DX1kJfS6
H社の論文を読んだが、MoがInGaAsの430℃アニールに耐える表面保護膜として使える
と解釈した方が良いように思えた。それにPtがAuの混晶になっているのも気になる。
通電評価を見たい。
URLﾘﾝｸ(citeseerx.ist.psu.edu)
>>803 ＞Cu だと 350℃ 30min までは 問題ない
これも、そうだけど、正式に評価してみないと分らないが、Cuの場合、通電に於ける
マイグレーションに対して強いので、CuのInGaAsへの拡散が抑えられているのかもしれない。