11/05/03 13:43:08.88 0f0h5gsi
>>45
いまや、半分以上はオランダ製ですよ。
キャノンは実質撤退、ニコンはEUVの開発を断念した(負け寸前)。
（但し、ASMLが失敗、あるいは市場が必要としない可能性アリ）
>>84
次世代ステッパーはEUV(極紫外線)だけど直接EB(電子ビーム)に行く
可能性もあるよな(無理か？)。
ArF＋液浸＋ダブルパターニングではそろそろ限界なんだろうね。
凸版のナンチャラ言った転写マスクはどうなんだろうな？
これが実用化されると、ASMLとニコンは大打撃だろうな。