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旭化成、製造設備から出火と推定 宮崎県の半導体工場火災
2021/9/14 13:39 共同通信社
旭化成は14日、宮崎県延岡市の半導体工場で昨年10月に発生した火災について、クリーンルーム内の製造設備が出火場所になったと推定したと発表した。
建屋内の損傷が激しく、出火原因は特定できなかったが、「電気的要因」と推定した。工場は現在も停止中で、復旧見通しは「未定」と改めて説明した。
火災が起きた工場では自動車や音響メーカー向けの高密度集積回路（LSI）を生産していた。工場が停止したため、国内外の他メーカーが代替生産している。
同社は、5階建て工場の4階にある半導体材料のウエハーを製造する設備である「チタン除去装置」から出火したと推定した。
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＞出火原因は特定できなかった
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