11/09/26 20:36:27.32 MotJ9TkpP BE:1777617465-PLT(12021) ポイント特典
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物質は光速の電子を照射されると、その元素に固有なエネルギーを持つX線を、照射された量にほぼ比例して発生する。
従って、観察している物質から発生したX線のエネルギーと強度を測定する検出器を電子顕微鏡に装着すれば、
そこの領域に存在している元素とその量を知ることができるようになるというわけだ。
しかし、電子顕微鏡内部の構造は複雑なため、観察している試料のすぐ近くにX線検出器を置くスペースが十分に取れないなどの理由により、
試料から発生したX線のわずか1～2%程度しか検出することができていなかったのが、従来の装置の問題点である。
そのため、信頼に足るに十分なX線のシグナルを栄養とすると、長時間にわたって電子線を試料に当て続けなくてはならないのが難点。
結果、その間に試料物質が分解したり、あるいは試料が動いて手ぶれ写真のようになったりして、目的とする解析ができなくなる場合があったのである。
こうした問題を低減もしくは解決するには、測定できるX線の割合を大きく向上させる必要がある。
そのためには、X線を取り込む窓(有効面積)の拡大と、それによって増すX線シグナルの処理の高速化が課題となる。
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