13/03/18 20:45:14.08 FRI4cnTg0 BE:622303564-PLT(17072) ポイント特典
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NTT、MEMSによる超音波「レーザ」の実現に成功
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日本電信電話株式会社（以下NTT、本社：東京都千代田区、代表取締役社長：鵜浦博夫）は、安定度の高い光を作り出す技術として広く用いられているレーザ（※１）と類似の原理をMEMS（※２）に適用し、
１００万分の１以下という小さな周波数揺らぎしか持たない振動子の動作を実現しました。
１．背景と成果の概要
電子機器における基準交流信号を作り出す素子である水晶振動子は、昨今の通信・情報処理装置に欠かすことのできない素子として広く用いられています。
水晶振動子は薄膜の振動を用いて極めて高い周波数安定性を持つことが特徴で、電子機器の小型化に伴い、さらなる小型化・高周波数化が求められています。
一方、NTTの研究所では、これまでMEMS（Microelectromechanical Systems）や、さらにそれを微細化したNEMS（Nanoelectromechanical Systems）の新しい応用技術の研究を進めてきましたが、
今回、MEMSに対してレーザに類似した原理を適用することにより、高い精度の超音波振動を生成する振動子の実現に成功しました。
本成果は、将来的には水晶振動子より小型で高周波数かつ高精度な、半導体チップに集積可能な振動子への応用につながるものと期待されます。
２．今回実現した素子の概要
NTTの研究所が動作の実現に成功したMEMSの心臓部は、長さ２５０μm、幅８５μm、厚さ１．４μmのこの髪の毛（約８０μm）よりも細い小さな板バネです。
今回、板バネ構造にレーザと類似の原理を適用することにより、周波数ゆらぎが１００万分の１以下しかない極めて高い精度の振動を生成することに成功しました。
このような超音波に対する「レーザ」は、SASER（Sound Amplification by Stimulated Emission of Radiation）と呼ばれています。
電気的に制御が可能なMEMSによるSASERを実現したのは、世界で初めてと言えます。