【朝鮮日報】 素材・部品・設備の国産化「半分は成功」…サムスンが使うフォトレジスト、あと5年は日本に依存 [07/08] [荒波φ★]at NEWS4PLUS
【朝鮮日報】 素材・部品・設備の国産化「半分は成功」…サムスンが使うフォトレジスト、あと5年は日本に依存 [07/08] [荒波φ★]
- 暇つぶし2ch171:<丶`∀´>(´・ω・`)(`ハ´ )さん
20/07/08 16:20:22 4pyld+uo.net
>>166
EUVってフォトリソグラフィの方式じゃないの?フッ化水素使うのはその後の加工洗浄工程だと思うけど
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