19/11/13 00:22:31.27 WDI8cBnA.net
>>473
ホコリなら実害少ないと思う
ウエハは搬送中は特殊なケースに入っているし、装置も気密性高いからね。
ウエハを掴む設備のアームが汚れたり薬液に不純物が混ざったとか。それで汚れたウエハが設備を渡りあるくと汚染が広がる。
だいたいは人為的なチョンボだろ
もしフッ化水素を日本製から他に切り替えたことが原因なら韓国の他のラインでも同じことが起こると思うよ。
19/11/13 00:22:31.27 WDI8cBnA.net
>>473
ホコリなら実害少ないと思う
ウエハは搬送中は特殊なケースに入っているし、装置も気密性高いからね。
ウエハを掴む設備のアームが汚れたり薬液に不純物が混ざったとか。それで汚れたウエハが設備を渡りあるくと汚染が広がる。
だいたいは人為的なチョンボだろ
もしフッ化水素を日本製から他に切り替えたことが原因なら韓国の他のラインでも同じことが起こると思うよ。