19/11/13 00:16:14.36 WmXb6C0i.net
>>473
純度の低いフッ化水素はつまり不純物を含むということ。
この気体を循環させるパイプまで汚染されたということ。
製造につかったなら、さらに不純物をクリーンルームに撒き散らしてしまったということ
だと思われる。全て、一から清掃しなければならないし、配管もとりかえ生産機械も洗浄
もしくは廃棄の可能性も出てくる。この事故はフッ化水素問題当時から予想された。
19/11/13 00:16:14.36 WmXb6C0i.net
>>473
純度の低いフッ化水素はつまり不純物を含むということ。
この気体を循環させるパイプまで汚染されたということ。
製造につかったなら、さらに不純物をクリーンルームに撒き散らしてしまったということ
だと思われる。全て、一から清掃しなければならないし、配管もとりかえ生産機械も洗浄
もしくは廃棄の可能性も出てくる。この事故はフッ化水素問題当時から予想された。