19/11/12 23:35:01 CQMgEoJZ.net
>>389
処理工程毎に部署が違うから、全体が汚染されたとなるとクリーニングの間違いは無いよ。
すべての装置に繋がっているとしたら不活性ガスのN2くらいだと思うんだけど、
前工程のクリーントラックでフッ化水素で洗浄したウェーハー流した場合フッ化水素が汚染されていたら全ての工程で汚染される。
フッ化水素かクリーンルームの環境管理のどちらかだと思うんだけどね。
19/11/12 23:35:01 CQMgEoJZ.net
>>389
処理工程毎に部署が違うから、全体が汚染されたとなるとクリーニングの間違いは無いよ。
すべての装置に繋がっているとしたら不活性ガスのN2くらいだと思うんだけど、
前工程のクリーントラックでフッ化水素で洗浄したウェーハー流した場合フッ化水素が汚染されていたら全ての工程で汚染される。
フッ化水素かクリーンルームの環境管理のどちらかだと思うんだけどね。