【韓国】サムスンのDRAM工場、半導体製造プロセスに不可欠なクリーンルームの機器がすべて汚染される★3[11/12]at NEWS4PLUS
【韓国】サムスンのDRAM工場、半導体製造プロセスに不可欠なクリーンルームの機器がすべて汚染される★3[11/12] - 暇つぶし2ch384:<丶`∀´>(´・ω・`)(`ハ´  )さん
19/11/12 23:23:38 CQMgEoJZ.net
>>1
>ウェーハ処理に使用される機器は汚染されているため

これ製造装置の事なんだろうか?
だとすれば、国産フッ化水素とやらがダメなんだろうが、装置以外の例えばウェーハーピンセットとかフープやナノスペックなんかならHEPAのブロアー逆相で回したとか?


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