20/02/25 11:04:34 2+bUmKUr0.net
ナノインプリントはありまぁす！
―微細化の部分ではハンコで印刷するように回路を転写する「ナノインプリント」の開発を進めていますが、現状は。
キヤノンの武石洋明常務執行役員
「量産化にいつ、どう使うかは顧客が決めることだが、かなり進歩しているということは強調して言いたい。
ハンコのような原理で接触するのでゴミが出やすいのはその通りだが、本当に少なくなった。
金属の配管に特殊な加工を施すなどして、ゴミの数を減らしてきた。
重ねて何度も露光する際の精度もKrFなどの露光装置に近づいてきた。
性能を上げるためもう一段頑張らないといけない」