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半導体の生命線「蛍石」 高純度で生成、世界初の大型プラント製造 住友電設と名古屋工大
半導体製造に不可欠な鉱物「蛍石(ほたるいし)」(フッ化カルシウム)を高純度で生成する大型プラントを、住友電設と名古屋工業大の安井晋示教授が完成させた。
電気設備の絶縁ガスなどとして使われている六フッ化硫黄(SF6)を回収して蛍石を生成するもので、実用レベルでは世界初。
日本は蛍石を中国などからの輸入に依存しており、プラント実用化が進めば安定供給につながると期待される。
(以下略、続きはソースでご確認ください)
産経新聞 2026/3/24 09:00
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