15/12/21 00:30:08.15 833FYMXh.net
>>185,186
日本語的に疑問はあるけど
URLﾘﾝｸ(www.seaj.or.jp)
「なぜなら、電子ビーム露光の唯一の重大な欠点は、
露光スピードが遅いことなのであるが、ウェーハ面積は、
300mm のおよそ１/1,000であるから、電子ビームの露光時
間は実質的に1,000倍となるからである。」
電子ビームで300mmウェハ一枚焼くのにかかる時間の
1/1000の時間で焼こうという考えらしい。
15/12/21 00:30:08.15 833FYMXh.net
>>185,186
日本語的に疑問はあるけど
URLﾘﾝｸ(www.seaj.or.jp)
「なぜなら、電子ビーム露光の唯一の重大な欠点は、
露光スピードが遅いことなのであるが、ウェーハ面積は、
300mm のおよそ１/1,000であるから、電子ビームの露光時
間は実質的に1,000倍となるからである。」
電子ビームで300mmウェハ一枚焼くのにかかる時間の
1/1000の時間で焼こうという考えらしい。