[ここ壊れてます] .net
EUV光源はあまりにハードル高くて現実的でないとドロップした。ただ、露光機自体は先端プロセスからは脱落したものの今も結構頑張ってたりもする。
ASML躍進の理由は制御にこだわり、他はどこまでもオープンであったことだな。ニコン、キヤノンの下請け、コンペチがASMLに協力することとなった。ニコンやキヤノンはステッパーは光学こそがキーパーツと思いすぎた。
超簡略するとそんな感じ。
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EUV光源はあまりにハードル高くて現実的でないとドロップした。ただ、露光機自体は先端プロセスからは脱落したものの今も結構頑張ってたりもする。
ASML躍進の理由は制御にこだわり、他はどこまでもオープンであったことだな。ニコン、キヤノンの下請け、コンペチがASMLに協力することとなった。ニコンやキヤノンはステッパーは光学こそがキーパーツと思いすぎた。
超簡略するとそんな感じ。