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【半導体不況】日本勢最後の希望・キオクシア「投資の手は絶対に緩めない」 [237216734]
ｽﾚﾘﾝｸ(poverty板)
EUVの導入は
―Y7棟は、AI（人工知能）を活用し高度に自動化したスマートファクトリーということだが、どういったAI技術を活用しているのか。リソグラフィなど、工程面でのチャレンジはあるか。
早坂氏 工場内で活用しているAI技術については公表が難しいが、日々進化しているAIで製品を製造しているとだけ、申し上げたい。
リソグラフィーについては、次世代技術として、ナノインプリント（NIL）技術の研究開発を引き続き行っている。ただし、大規模量産に適用できるまでには至っていない。EUV（極端紫外線）リソグラフィーを導入しているメーカーもあるが、キオクシアとしては今のところ導入は考えていない。