21/03/23 19:29:49.85 /L0N3B1u.net
URLﾘﾝｸ(news.mynavi.jp)
EUVリソグラフィに関する最初の発表は、NTT電子通信研究所が1986年秋の応用物理学会で行った発表であるとし、
それから30年余りのEUVリソグラフィの実用化を目指した世界規模での研究開発の紆余曲折した歴史を話した。
開発当初は、NTTが「X線縮小投影露光」呼んでおり、技術内容をよく表している言葉だったが、
のちに米国勢がEUVリソグラフィと改名した。
1990年代、米国においてX線リソグラフィの開発にはすでにDARPAなどから莫大な補助金が出ており、
いまさらX線の名前の入った研究には補助金が支給されにくいため、
新たな補助金取得に有利なように斬新な「EUV」と改名したという。
つまり、米政府から補助金を獲得するための命名だったわけである。