12/04/04 11:52:01.05 yK42mcvI
Intelはニコン党だったんだけど最近はASMLは大分入れている
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>この22nmプロセスをIntelが量産する際，そこで採用するダブル・パターニング用のArF液浸露光装置における，ASMLの比率は半数近くになる可能性がある。
>ニコンにとっては，Intel向けの量産用ArF液浸露光装置を，ASMLと分け合うのは痛い状況といえよう。
>32nmや45nmのプロセス向けでは，量産用の露光装置をニコンがほぼ独占していたからである。