【フッ化水素】韓国のSKマテリアルズ、純度99.999%の超高純度フッ化水素の量産開始   [Toy Soldiers★]at NEWSPLUS
【フッ化水素】韓国のSKマテリアルズ、純度99.999%の超高純度フッ化水素の量産開始   [Toy Soldiers★] - 暇つぶし2ch51:不要不急の名無しさん
20/06/21 20:08:31.13 /8oVJAmB0.net
>>1
純度ひくっwwwww

SKマテリアルズ、半導体向けフッ化水素を量産: 日本経済新聞
URLリンク(r.nikkei.com)
SKマテリアルズによると、量産を実現したフッ化水素ガスの純度は99.999%で「ファイブナイン」と呼ぶ純度。
日本の素材メーカーが輸出してきた9が11個並ぶ超高純度の「イレブンナイン」と比べて品質は劣るものの、半導体ウエハーの洗浄など生産工程の一部で導入が始まったとしている。


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