19/07/12 14:42:34.85 YTuXLhPBO.net
>>267
半導体用は不純物が少ないものが必要。
基盤洗浄に使うからわずか数μmのゴミが問題になる。
ウラン濃縮用に六フッ化ウランを作るなら主成分がフッ化水素でありさえすれば純度はさほど問題にならない、って感じかと。
19/07/12 14:42:34.85 YTuXLhPBO.net
>>267
半導体用は不純物が少ないものが必要。
基盤洗浄に使うからわずか数μmのゴミが問題になる。
ウラン濃縮用に六フッ化ウランを作るなら主成分がフッ化水素でありさえすれば純度はさほど問題にならない、って感じかと。