14/10/09 17:06:17.11 nuTGwCzV0.net
>>314
大発見 上から気体噴射しよう！
URLﾘﾝｸ(denkou.cdx.jp)
1990年10月 出願
特開昭６３－７６１９ (3年ぐらい前かな)
反応性を有するガスとを減圧下反応槽内の基板の表面にほぼ平行にシート状の流れで導入し、
かつ前記基板の表面に対向するように不活性ガスを主体とするガス流を導入し･･･
特許の検索するときは、 S63-7619
ガスで膜を作る方法での似たよーなのがとっくにあるじゃん。
文字誤魔化して特許は通せても、現実的に新規性はなかったよね。